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CW6263車(chē)床掃描技術(shù)提高了6263普通車(chē)床價(jià)位時(shí)間:2019-10-11 08:59 來(lái)源:http://www.sgrivertours.com 作者:車(chē)床
CW6263車(chē)床傳統的角度和長(cháng)度測量設備所采用的四場(chǎng)成像式掃描方法中(如圖5所示),光柵標尺與帶有類(lèi)似或相同光柵結構的掃描掩膜做相對運動(dòng)。CW6263普通車(chē)床穿過(guò)標尺與掩膜光線(xiàn)的明暗程度按標尺與掩膜相對位置的不同而有規律地變化:CW6263車(chē)床當標尺與掩膜的空隙吻合時(shí),光線(xiàn)得以穿過(guò);當柵線(xiàn)與空隙重合時(shí),沒(méi)有光線(xiàn)穿過(guò)。CW6263車(chē)床感光元件將光強的變化轉變?yōu)殡娮有盘枴呙柩谀ど嫌兴膫(gè)掃描區,各掃描區光柵間互相錯開(kāi)四分之一柵距。CW6263車(chē)床對應于這四個(gè)掃描區的感光元件生成相位差為90°的四個(gè)正弦信號。CW6263普通車(chē)床這四個(gè)掃描信號不以零線(xiàn)為其中線(xiàn),所以需要將四個(gè)信號兩兩相減,以獲得兩個(gè)相位差90°、中線(xiàn)為零線(xiàn)的輸出信號I1與I2。CW6263車(chē)床新型的單場(chǎng)掃描技術(shù),其掃描掩膜帶一個(gè)大尺寸光柵,其柵距與光柵標尺的柵距略有不同(如圖6所示)。由此在CW6263車(chē)床掃描掩膜光柵長(cháng)度上會(huì )產(chǎn)生明暗交替現象:某些地方柵線(xiàn)與柵線(xiàn)重疊,光線(xiàn)可以通過(guò);某些地方柵線(xiàn)與空隙重疊,光線(xiàn)無(wú)法通過(guò)。CW6263車(chē)床在這兩者之間,空隙部分被遮擋,這起到了光學(xué)過(guò)濾的作用,使得產(chǎn)生均勻的高正弦性信號成為可能。CW6263車(chē)床特制的柵狀感光元件取代了獨立感光元件,生成四個(gè)相位差為90°的掃描信號。單場(chǎng)掃描光柵尺的輸出信號擁有更好的圓度和更小的信號噪聲。而這意味著(zhù)更高的定位精度和更佳的控制品質(zhì)提高CW6263車(chē)床價(jià)位。
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