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61125車(chē)床廠(chǎng)家為您解析5米CW61125重型車(chē)床微制造技術(shù)時(shí)間:2019-06-22 09:07 來(lái)源:http://www.sgrivertours.com 作者:車(chē)床
5米CW61125重型車(chē)床微制造技術(shù)。目前5米CW61125重型車(chē)床廠(chǎng)家常用于微機電系統方面的微制造技術(shù)(Micromanufacturing)可分為對硅基材料以及非硅基材料的微加工,基本上又可分為四類(lèi):(1)5米CW61125重型車(chē)床刻蝕技術(shù)。5米CW61125重型車(chē)床技術(shù)利用干刻蝕法、濕刻蝕法或光刻蝕法對5米CW61125重型車(chē)床廠(chǎng)家加工材料進(jìn)行等向或非等向刻蝕去除加工,通常可對5米CW61125重型車(chē)床廠(chǎng)家加工材料進(jìn)行體形微加工(bulk micromachining)或5米CW61125重型車(chē)床表面微加工(surface micromachining)。5米CW61125重型車(chē)床刻蝕技術(shù)的優(yōu)點(diǎn)是加工精度高,且5米CW61125重型車(chē)床有大批量生產(chǎn)能力,可與IC制造相容,技術(shù)已較成熟;缺點(diǎn)是5米CW61125重型車(chē)床廠(chǎng)家加工材料固定、5米CW61125重型車(chē)床加工速度慢、刻蝕劑危險性高、所用設備資金投入大,且對5米CW61125重型車(chē)床廠(chǎng)家加工環(huán)境要求高等。(2)5米CW61125重型車(chē)床薄膜技術(shù)。該技術(shù)主要用薄膜成長(cháng)技術(shù)和5米CW61125重型車(chē)床刻蝕技術(shù)加工所需的微結構,一般5米CW61125重型車(chē)床廠(chǎng)家可用于2D表面微加工,主要應用在VLSI方面的微元件制造。5米CW61125重型車(chē)床薄膜技術(shù)除了技術(shù)已較成熟、極佳的IC相容性,不需要特別的組裝技術(shù)就可以大量生產(chǎn)5米CW61125車(chē)床微元件外,其缺點(diǎn)與刻蝕技術(shù)相同。
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