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        車(chē)床的化學(xué)氣相沉積法，銑床是采用一定的方法把含有C源的氣體激活，車(chē)床在極低的氣體壓強下，銑床使碳原子在一定區域沉積下來(lái)，車(chē)床碳原子在凝聚、銑床的沉積過(guò)程中形成金剛石相。目前車(chē)床用于沉積金剛石的CVD法主要包括：微波、熱燈絲、銑床的直流電弧噴射法等。